第410章 性能优异的碳基光刻胶
第410章性能优异的碳基光刻胶
‘碳基紫外光引发剂’的核心成分光敏引发剂的制造过程相当复杂,哪怕其中一大半以上的步骤可以通过智能程序进行控制,其制备失败的概率也不低。
即便是韩元,也折腾了两天的时间,经历了三次不同时期的失败,才将光敏引发剂的两种合成材料制备出来并合成出来完整的增感剂。
制备出来的增感剂整体无色透明,宛如蜂蜜一样粘稠。
这些光敏引发剂装在用聚酯材料构成的棕色瓶中,保存在温度控制在十度的漆黑冰箱中。
之所以不用玻璃容器装,是因为成型后的光敏引发剂会和硅进行反应。
而存储环境避光,原理也一样。
从‘光敏引发剂’这个名字就能知道,这种材料对于光照的敏感度相当高,接触光照会引发材料的性质变化。
所以合成出来后,一直到使用前,整体都必须要避光保存。
包括使用‘光敏引发剂’合成的‘碳基紫外光引发剂’,也就是碳基芯片光刻胶,都得在避光环境下保存。
被取出来后,碳基光刻胶会逐渐因为接受到了光照、接触了外界基底等因素而失效,时间大概是一个小时左右。
当然,如果仅仅是保存的话,通过避光、真空等手段,这种碳基光刻胶还是可以保存相当长的一段时间的。
像韩元这种使用棕色的聚酯瓶避光非真空保存,可以保存大概两年的时间。
如果保存手段更严谨一点,保存的时间可以增加至三年左右。
这已经足够了。
花费了一周的时间,从溶剂组到增感剂到感光树脂,韩元将其一一合成了出来,并组装成了最终可用于石墨烯单晶晶圆上的光刻胶。
成型的光刻胶整体半透明,带着微微乳白色,透光度相当高。
韩元保存好大部分的光刻胶后,取了一小部分做了个实验。
之前制备完成切割好的石墨烯单晶晶圆取出来一小片,其中一半的面积涂抹上光刻胶,另一半则保持原样。
处理好后的石墨烯单晶晶圆通过紫外光源进行照射,时间为期三十秒。
三十秒的照射时间过后,韩元将其取出,通过特殊溶液清洗掉上面覆盖的碳基光刻胶,然后浸入显影溶液中。
虽然浸泡在溶液中的石墨烯晶圆肉眼看不出什么变化,但当韩元用镊子夹住晶圆在显影溶液中轻轻晃荡的时候,就可以看到显影溶液的颜色变化了。
那是被显影溶液侵蚀掉并冲走了的石墨烯材料导致的。
将石墨烯晶圆从显影溶液中取出,清晰掉上面残留的液体,透过观察设备,可以清晰的看到这一块石墨烯晶圆表面已经有了相当大的变化。
没有被碳基光刻胶覆盖的区域已经被显影溶液侵蚀的差不多了,而覆盖了光刻胶的另一半则并没有什么太明显的变化。
这就是负性光刻胶的功劳了。
它覆盖在石墨烯单晶晶圆表面后,通过紫外光照,可以在短时间内迅速变态,改变覆盖区域的石墨烯结构,增强其对显影溶液的抗性,让其变得不容易被侵蚀。
而没有覆盖光刻胶的地方,就会被侵蚀掉,形成与遮光物的形状相反的样子。
也就是形成掩膜版相反的模样。
这就是芯片通过光刻机雕刻的最主要原理,也是光刻胶在芯片制造过程中异常重要,甚至堪比光刻机的主要原因。
检查了一下被显影液侵蚀的石墨烯单晶晶圆,得到各种信息数据后,韩元也是露出了个灿烂的笑容。
制备出来的碳基光刻胶效果相当不错,被覆盖的区域经过紫外光源的照射后几乎完整的保留了下来。
而且这还只是普通能级的紫外光源就有这个效果,如果是碳基芯片光刻机中使用的极紫外光,那效果会更好。
毕竟普通紫外光的波长和能级都无法与极紫外光相比。
处理完碳基芯片使用的光刻胶,第三年的时间已经过去了八十天左右。
这是大致的时间,具体过去了多少天韩元没有算,毕竟总是一个人在模拟空间里面,算时间也没什么用。
就在这天,小七的声音从韩元手腕上携带的通讯器上传递了出来。
“主人,小八小九发现了一些异常的东西,有一定的概率和那些巨型昆虫有关。”
小七的声音从通讯器中传出来,引起了韩元的好奇也引起了直播间里面观众的好奇。
“什么情况?”
韩元有些诧异的询问道,难怪最近一段时间看不到小八小九,原来是跑出去了。
不过小七的话让他有些讶异。
自从上次他潜入水中找到那些巨型昆虫的母虫并处理掉后,有关巨型昆虫的事情就基本告一段落了。
在能覆盖全球的通讯侦查卫星的配合下,再加上小七本身强大的计算能力和智能,那些巨型昆虫包括母虫都已经被清理的差不多了,怎么现在又冒出来了?
韩元感觉这玩意有点阴魂不散。
“并不是活着的巨型昆虫,更像是一个石制的雕塑。”
小七的声音从通讯器中传递而来,再度引起了韩元的好奇。
“雕塑?”
韩元挑了挑眉,道:“在哪?卫星有没有拍到画面,有的话将视频和图片先传递过来我看看。”
“好的,主人。”
小七应了声,然后便沉寂了下去。
韩元没在意,转身来到了化学实验室中的显示屏旁边等待着。
过了一分多钟的样子,小七的声音再次响起。
“相关图片和视频信息已经传递给您了,主人,具体保存位置如下:/一号存储磁盘/九十号文件夹/”
“嗯,好,我先看看。”
韩元应了声,操控着特制的输入键盘打开了小七传递信息的文件夹。
通过侦查卫星拍摄到的图片和视频存储在里面,打开一张图片,呈现在显示屏上的,是一只体型巨大的昆虫
看到图片,韩元眼神一凝,差点以为那些巨型昆虫又一次出现了。
但随即,他敏锐的差距图片里面的巨型昆虫和他以前见过的有些不同。
随着图片的打开,与此同时,直播间里面也哗然起来。
【什么鬼,这些虫子又出来了。】
【阴魂不散啊。】
【咦,我怎么感觉这只巨虫是死的样子?】
【是石雕吧?之前那个智能管家小七就说过了,并不是虫子,而是和虫子有关的石雕。】
【应该是石雕,你们注意看,小八小九都还在上面,要是活的,估计早就被吃了。】
【虫子石雕,这是谁雕刻出来的?别告诉我是那些虫子?打死我都不信那些虫子还有雕刻艺术。】
【主播要不要过去看一下到底是什么情况?反正你有飞行器。】
直播间内讨论不断,有些弹幕引起了韩元的注意,他心中一动,朝着小七询问。
“小七,这个石雕具体位置在哪里?离我有多远?”
很快,小七的声音就通过通讯器传递过来了。
“石雕的位置在东经、北纬,按照主人您标注的地理位置信息来划分,在一个名为塔克拉玛干沙漠的沙漠里面。”
听到小七的回答,韩元愣了一下,重新看向图片。
他刚刚忽略掉了这个石雕存在周边的环境,注意力全击中在石雕上了,现在看去,石雕周边的确没有植被,到处都是各种形状尖锐碎石。
虽然并不是沙漠的景象,但符合戈壁滩的样貌。
“要不要过去看看?”
韩元盯着显示屏上的石雕思索着。
这个石雕的出现也让他很好奇,之前从来都没有想过还会有这样的东西出现。
如果距离近的话,驾驶勒落三角飞行器飞行器过去一趟倒也无所谓,反正很快。
但现在这个石雕出现的地方远在华国的塔克拉玛干沙漠里面,处于这颗模拟星球的另一面,这距离,就着实有点远了。
即便是有勒落三角飞行器,飞过去也要十来个小时,路程再加上探索调查的时间,少说也要两三天。
这让他有点犹豫。
盯着图片,皱着眉,正当韩元要否决掉过去一趟的想法是,显示屏上播放的连贯视频中的某一画面引起了他的注意。
暂停、回调,韩元盯着画面上泛着一丝金属光感的石雕迅速做出了决定。
过去!
做出了决定,韩元迅速起身,停放在河边充当电能供应设备的勒落三角飞行器迅速起飞。
经历了七个多小时的飞行,在小七的指引下,飞行器降落在一片茫茫无际的荒漠中。
韩元背负上各种工具和设备从飞行器上下来,迅速来到小八小九发现的那块巨型石雕面前。
这个巨型昆虫一般的石雕相当大,横着侧躺在荒漠中都比韩元还要高,有一小半埋葬在土里面。
韩元走上前,观察了一下后从背后取出一个鹤嘴小铁镐,尖锐的鹤嘴部分在石雕上轻轻的敲击了一下。
“铛~”
一道清脆的金属敲击声从碰撞点传了出来,听得直播间里面的观众口瞪目呆的。
【金属声?】
【不是石头,是金属?】
【什么情况?】
【金属石雕?我更好奇了,这到底是个什么情况。】
【从声音来听,这个石雕里面是中空的。】
【?????】
【谁会在荒漠里雕一座金属昆虫像?】
对于石雕发出了清脆的金属声,直播间里面的观众很是好奇,就连蹲守在直播间里面的各国官方人员亦是一样,纷纷推测着这座金属昆虫雕像的来源。
听到泛着空心的金属声后,韩元顿时了然,初步确认了心中的推测。
为了确认推测,韩元手持金属镐沿着巨型雕像多次敲击,确认了整座雕像都是中空的。
手中的鹤嘴镐放下,韩元绕行到这座雕像的头部,双手抓住雕塑的凸起部分,一用力,直接将这座金属雕塑从土中拔了出来。
这一举动,吓了直播间里面观众一大跳。
一座目测直径超过两米,长度超过五米的巨型雕塑,居然就这样被拔出来了?
哪怕是空心的,其重量也不是一个人能拔的动的吧?
不说直播间里面的观众,其实就连韩元自己都被吓了一跳。
在动手之前,他都做好了要挖才能将这座雕像弄出来的准备,毕竟这东西很大,估计也很重。
但韩元没想到的是,上手后,才发现这东西轻的让人难以想象,原本铆足了劲想要拔将其拔出来的他被带的直接一个趔趄才稳住。
将金属雕像放到地上,韩元绕着转了一群,在雕像尾部发现了一个大洞。
好奇的往里面看了一下,整座雕像只有相当薄的一层材料支撑着,里面中空,黑漆漆的,像是居住过什么东西。
韩元带上防护手套,沿着洞口边缘摸了一下,一层细密的沙土带着一股腥臭的气味粘在手套上。
这股气味,和之前发现的那些巨型昆虫不能说很像,简直是一模一样。
可见这个雕塑里面居住过巨型昆虫。
再结合雕像的体型远比一般巨型昆虫要大,答案相当简单,这里面以前居住过巨型昆虫的母虫。
或许,这个雕像,就是巨型昆虫的‘飞船’。
一直以来,韩元心里都有一个疑惑。
小九曾经说过那些巨型昆虫来源于外星,但它们怎么穿越宇宙和大气层来到地球的,这个可能只有早已离去的那个前任宿主知道。
但现在,他也找到了一丝线索。
那就是眼前的这座巨型金属雕像。
他通过随身携带的酒精喷灯对面前的这座雕像灼烧后发现,这一层厚度只有不到两厘米的金属外壳具有极其优秀的隔热能力。
酒精喷灯在外面烧了十来分钟,喷灯加热的地方,里层的温度没有一点变化。
虽然还没有对其进行完全的检测,但光是表现出来的超级优秀的隔热性能就足以让人惊叹了。
酒精喷灯的温度能达到一千度左右,虽然比不上穿越大气层时剧烈摩擦形成的高温,但能有这种表现,让韩元很是讶异。
他更加好奇这种‘金属’般的材料能做到一个什么样的地步。
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‘碳基紫外光引发剂’的核心成分光敏引发剂的制造过程相当复杂,哪怕其中一大半以上的步骤可以通过智能程序进行控制,其制备失败的概率也不低。
即便是韩元,也折腾了两天的时间,经历了三次不同时期的失败,才将光敏引发剂的两种合成材料制备出来并合成出来完整的增感剂。
制备出来的增感剂整体无色透明,宛如蜂蜜一样粘稠。
这些光敏引发剂装在用聚酯材料构成的棕色瓶中,保存在温度控制在十度的漆黑冰箱中。
之所以不用玻璃容器装,是因为成型后的光敏引发剂会和硅进行反应。
而存储环境避光,原理也一样。
从‘光敏引发剂’这个名字就能知道,这种材料对于光照的敏感度相当高,接触光照会引发材料的性质变化。
所以合成出来后,一直到使用前,整体都必须要避光保存。
包括使用‘光敏引发剂’合成的‘碳基紫外光引发剂’,也就是碳基芯片光刻胶,都得在避光环境下保存。
被取出来后,碳基光刻胶会逐渐因为接受到了光照、接触了外界基底等因素而失效,时间大概是一个小时左右。
当然,如果仅仅是保存的话,通过避光、真空等手段,这种碳基光刻胶还是可以保存相当长的一段时间的。
像韩元这种使用棕色的聚酯瓶避光非真空保存,可以保存大概两年的时间。
如果保存手段更严谨一点,保存的时间可以增加至三年左右。
这已经足够了。
花费了一周的时间,从溶剂组到增感剂到感光树脂,韩元将其一一合成了出来,并组装成了最终可用于石墨烯单晶晶圆上的光刻胶。
成型的光刻胶整体半透明,带着微微乳白色,透光度相当高。
韩元保存好大部分的光刻胶后,取了一小部分做了个实验。
之前制备完成切割好的石墨烯单晶晶圆取出来一小片,其中一半的面积涂抹上光刻胶,另一半则保持原样。
处理好后的石墨烯单晶晶圆通过紫外光源进行照射,时间为期三十秒。
三十秒的照射时间过后,韩元将其取出,通过特殊溶液清洗掉上面覆盖的碳基光刻胶,然后浸入显影溶液中。
虽然浸泡在溶液中的石墨烯晶圆肉眼看不出什么变化,但当韩元用镊子夹住晶圆在显影溶液中轻轻晃荡的时候,就可以看到显影溶液的颜色变化了。
那是被显影溶液侵蚀掉并冲走了的石墨烯材料导致的。
将石墨烯晶圆从显影溶液中取出,清晰掉上面残留的液体,透过观察设备,可以清晰的看到这一块石墨烯晶圆表面已经有了相当大的变化。
没有被碳基光刻胶覆盖的区域已经被显影溶液侵蚀的差不多了,而覆盖了光刻胶的另一半则并没有什么太明显的变化。
这就是负性光刻胶的功劳了。
它覆盖在石墨烯单晶晶圆表面后,通过紫外光照,可以在短时间内迅速变态,改变覆盖区域的石墨烯结构,增强其对显影溶液的抗性,让其变得不容易被侵蚀。
而没有覆盖光刻胶的地方,就会被侵蚀掉,形成与遮光物的形状相反的样子。
也就是形成掩膜版相反的模样。
这就是芯片通过光刻机雕刻的最主要原理,也是光刻胶在芯片制造过程中异常重要,甚至堪比光刻机的主要原因。
检查了一下被显影液侵蚀的石墨烯单晶晶圆,得到各种信息数据后,韩元也是露出了个灿烂的笑容。
制备出来的碳基光刻胶效果相当不错,被覆盖的区域经过紫外光源的照射后几乎完整的保留了下来。
而且这还只是普通能级的紫外光源就有这个效果,如果是碳基芯片光刻机中使用的极紫外光,那效果会更好。
毕竟普通紫外光的波长和能级都无法与极紫外光相比。
处理完碳基芯片使用的光刻胶,第三年的时间已经过去了八十天左右。
这是大致的时间,具体过去了多少天韩元没有算,毕竟总是一个人在模拟空间里面,算时间也没什么用。
就在这天,小七的声音从韩元手腕上携带的通讯器上传递了出来。
“主人,小八小九发现了一些异常的东西,有一定的概率和那些巨型昆虫有关。”
小七的声音从通讯器中传出来,引起了韩元的好奇也引起了直播间里面观众的好奇。
“什么情况?”
韩元有些诧异的询问道,难怪最近一段时间看不到小八小九,原来是跑出去了。
不过小七的话让他有些讶异。
自从上次他潜入水中找到那些巨型昆虫的母虫并处理掉后,有关巨型昆虫的事情就基本告一段落了。
在能覆盖全球的通讯侦查卫星的配合下,再加上小七本身强大的计算能力和智能,那些巨型昆虫包括母虫都已经被清理的差不多了,怎么现在又冒出来了?
韩元感觉这玩意有点阴魂不散。
“并不是活着的巨型昆虫,更像是一个石制的雕塑。”
小七的声音从通讯器中传递而来,再度引起了韩元的好奇。
“雕塑?”
韩元挑了挑眉,道:“在哪?卫星有没有拍到画面,有的话将视频和图片先传递过来我看看。”
“好的,主人。”
小七应了声,然后便沉寂了下去。
韩元没在意,转身来到了化学实验室中的显示屏旁边等待着。
过了一分多钟的样子,小七的声音再次响起。
“相关图片和视频信息已经传递给您了,主人,具体保存位置如下:/一号存储磁盘/九十号文件夹/”
“嗯,好,我先看看。”
韩元应了声,操控着特制的输入键盘打开了小七传递信息的文件夹。
通过侦查卫星拍摄到的图片和视频存储在里面,打开一张图片,呈现在显示屏上的,是一只体型巨大的昆虫
看到图片,韩元眼神一凝,差点以为那些巨型昆虫又一次出现了。
但随即,他敏锐的差距图片里面的巨型昆虫和他以前见过的有些不同。
随着图片的打开,与此同时,直播间里面也哗然起来。
【什么鬼,这些虫子又出来了。】
【阴魂不散啊。】
【咦,我怎么感觉这只巨虫是死的样子?】
【是石雕吧?之前那个智能管家小七就说过了,并不是虫子,而是和虫子有关的石雕。】
【应该是石雕,你们注意看,小八小九都还在上面,要是活的,估计早就被吃了。】
【虫子石雕,这是谁雕刻出来的?别告诉我是那些虫子?打死我都不信那些虫子还有雕刻艺术。】
【主播要不要过去看一下到底是什么情况?反正你有飞行器。】
直播间内讨论不断,有些弹幕引起了韩元的注意,他心中一动,朝着小七询问。
“小七,这个石雕具体位置在哪里?离我有多远?”
很快,小七的声音就通过通讯器传递过来了。
“石雕的位置在东经、北纬,按照主人您标注的地理位置信息来划分,在一个名为塔克拉玛干沙漠的沙漠里面。”
听到小七的回答,韩元愣了一下,重新看向图片。
他刚刚忽略掉了这个石雕存在周边的环境,注意力全击中在石雕上了,现在看去,石雕周边的确没有植被,到处都是各种形状尖锐碎石。
虽然并不是沙漠的景象,但符合戈壁滩的样貌。
“要不要过去看看?”
韩元盯着显示屏上的石雕思索着。
这个石雕的出现也让他很好奇,之前从来都没有想过还会有这样的东西出现。
如果距离近的话,驾驶勒落三角飞行器飞行器过去一趟倒也无所谓,反正很快。
但现在这个石雕出现的地方远在华国的塔克拉玛干沙漠里面,处于这颗模拟星球的另一面,这距离,就着实有点远了。
即便是有勒落三角飞行器,飞过去也要十来个小时,路程再加上探索调查的时间,少说也要两三天。
这让他有点犹豫。
盯着图片,皱着眉,正当韩元要否决掉过去一趟的想法是,显示屏上播放的连贯视频中的某一画面引起了他的注意。
暂停、回调,韩元盯着画面上泛着一丝金属光感的石雕迅速做出了决定。
过去!
做出了决定,韩元迅速起身,停放在河边充当电能供应设备的勒落三角飞行器迅速起飞。
经历了七个多小时的飞行,在小七的指引下,飞行器降落在一片茫茫无际的荒漠中。
韩元背负上各种工具和设备从飞行器上下来,迅速来到小八小九发现的那块巨型石雕面前。
这个巨型昆虫一般的石雕相当大,横着侧躺在荒漠中都比韩元还要高,有一小半埋葬在土里面。
韩元走上前,观察了一下后从背后取出一个鹤嘴小铁镐,尖锐的鹤嘴部分在石雕上轻轻的敲击了一下。
“铛~”
一道清脆的金属敲击声从碰撞点传了出来,听得直播间里面的观众口瞪目呆的。
【金属声?】
【不是石头,是金属?】
【什么情况?】
【金属石雕?我更好奇了,这到底是个什么情况。】
【从声音来听,这个石雕里面是中空的。】
【?????】
【谁会在荒漠里雕一座金属昆虫像?】
对于石雕发出了清脆的金属声,直播间里面的观众很是好奇,就连蹲守在直播间里面的各国官方人员亦是一样,纷纷推测着这座金属昆虫雕像的来源。
听到泛着空心的金属声后,韩元顿时了然,初步确认了心中的推测。
为了确认推测,韩元手持金属镐沿着巨型雕像多次敲击,确认了整座雕像都是中空的。
手中的鹤嘴镐放下,韩元绕行到这座雕像的头部,双手抓住雕塑的凸起部分,一用力,直接将这座金属雕塑从土中拔了出来。
这一举动,吓了直播间里面观众一大跳。
一座目测直径超过两米,长度超过五米的巨型雕塑,居然就这样被拔出来了?
哪怕是空心的,其重量也不是一个人能拔的动的吧?
不说直播间里面的观众,其实就连韩元自己都被吓了一跳。
在动手之前,他都做好了要挖才能将这座雕像弄出来的准备,毕竟这东西很大,估计也很重。
但韩元没想到的是,上手后,才发现这东西轻的让人难以想象,原本铆足了劲想要拔将其拔出来的他被带的直接一个趔趄才稳住。
将金属雕像放到地上,韩元绕着转了一群,在雕像尾部发现了一个大洞。
好奇的往里面看了一下,整座雕像只有相当薄的一层材料支撑着,里面中空,黑漆漆的,像是居住过什么东西。
韩元带上防护手套,沿着洞口边缘摸了一下,一层细密的沙土带着一股腥臭的气味粘在手套上。
这股气味,和之前发现的那些巨型昆虫不能说很像,简直是一模一样。
可见这个雕塑里面居住过巨型昆虫。
再结合雕像的体型远比一般巨型昆虫要大,答案相当简单,这里面以前居住过巨型昆虫的母虫。
或许,这个雕像,就是巨型昆虫的‘飞船’。
一直以来,韩元心里都有一个疑惑。
小九曾经说过那些巨型昆虫来源于外星,但它们怎么穿越宇宙和大气层来到地球的,这个可能只有早已离去的那个前任宿主知道。
但现在,他也找到了一丝线索。
那就是眼前的这座巨型金属雕像。
他通过随身携带的酒精喷灯对面前的这座雕像灼烧后发现,这一层厚度只有不到两厘米的金属外壳具有极其优秀的隔热能力。
酒精喷灯在外面烧了十来分钟,喷灯加热的地方,里层的温度没有一点变化。
虽然还没有对其进行完全的检测,但光是表现出来的超级优秀的隔热性能就足以让人惊叹了。
酒精喷灯的温度能达到一千度左右,虽然比不上穿越大气层时剧烈摩擦形成的高温,但能有这种表现,让韩元很是讶异。
他更加好奇这种‘金属’般的材料能做到一个什么样的地步。
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